各有关单位：
随着我国在光刻机领域不断取得的技术突破和消费者对于半导体电子产品品质的刚性需求。光刻机作为集成电路制造的关键设备，国内半导体产业对于光刻机控制系统的要求越来越高。
与之相对，我国在光刻机生产制造领域，特别是光刻机系统、核心部件等基础层面尚未制定具有普适性、指导性的技术性标准文件。核心标准的起草与创新成果将极大促进我国集成电路行业在世界的领先地位。因此，我国亟需将光刻机技术纳入标准化工作序列，制定相关技术标准以填补当前行业标准空白。
为贯彻落实《国家标准化发展纲要》（国市监标技发〔2022〕64 号）《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干 政策的通知》（国发〔2020〕8 号）等文件精神，助力集成电路行业技术创新和高质量发展，提升集成电路企业标准建设与创新的综合能力，中国国际科技促进会拟立项预研《光刻机智能控制系统技术规范》团体标准，现面向接函单位公开征集起草宣贯单位，报名时间截止2024 年 9 月底。
为保证标准制定的公正性、适用性，请接函单位高度重视，安排专人对接相关事宜。现将有关事项通知如下：
一、参与标准意义
（一）依据中共中央、国务院印发的《国家标准化发展纲要》要求，充分释放市场主体标准化活力。
（二）为参与起草的企事业单位申报项目提供证明文件，协助企事业单位申请办理相关认证及财政补贴。
二、起草单位、起草人资格条件
（一）企业近三年（含成立不足三年）未发生较大及以上的安全、环保、质量等事故。
（二）起草单位应具有专业领域内较强的应用能力和科研水平，重视标准化工作。
（三）愿意承担标准化工作所需起草费用、技术和人力支持。
（四）标准起草人应熟悉行业相关工作，具有丰富的实践经验和较高的理论水平，并能够参与标准起草的各项工作。
三、起草单位、起草人享有以下权利
（一）参与标准制定工作，成为标准起草组成员，并在标准文本前言中体现起草单位和起草人姓名。
（二）本标准升级成国家标准，或本标准修订时，享有优先参与标准修订的权利。
（三）授予标准起草单位荣誉牌匾及证书，授予起草人证书。
四、起草单位、起草人承担义务
（一）积极配合中国国际科技促进会组织的标准启动、调研、征求意见、审查、报批等制修订工作流程，按时完成标准起草组分配的各项工作任务。
（二）在标准起草过程中提供的信息真实、客观、科学。
五、申报要求
《光刻机智能控制系统技术规范》团体标准由中国国际科技促进会联合北京通标华信技术服务有限公司共同组织，请申请参与标准起草的相关单位填写《起草单位申请表》（见附件）加盖单位公章，将《申请表》以邮件形式或邮寄的形式送达起草组秘书处。
六、联系方式
联系人：石老师
手机/微信：13716523499
征集通知、申请表下载
